產品型號：PARAMOUNT HP 10013

產品介紹：基于 Advanced Energy 標志性的 Paramount RF 發生器平臺，Paramount HP 10013 為更高功率應用提供全數字控制和動態等離子體響應。 具有低平均功率，實現準確且可重復的脈沖功率。 隨著半導體工藝的發展，高縱橫比器件需要高等離子體密度，同時保持低平均工藝功率。 派拉蒙 HP 10013 可實現高瞬時峰值功率，同時將平均過程功耗降至低。派拉蒙 HP 10013 使用數字架構，可實現準確的過程測量和控制，并提供與不斷增長的制造需求保持同步所需的適應性。

性能特點：

增強的等離子體穩定性和工藝可重復性

準確的射頻控制

對等離子變化的快速響應

滿足特定應用需求的靈動性和適應性

全數字控制

實時功率和阻抗測量

嚴格調節的輸出功率

電弧管理

上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術詢問，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。為緊跟工業科技發展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產品集散帶來的二度成本優勢。

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