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公司基本資料信息
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產(chǎn)品型號:InVue6550
產(chǎn)品介紹:Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計。 IFC 6550 型設(shè)計的流速為 60、90 或 120 L/min,非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過程控制。 視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報狀況提供診斷,使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。
性能特點:
使用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過程控制
視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報狀況提供診斷
集成壓力傳感器提供額外的過程信息
使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過驗證的測量和控制
堅固的設(shè)計提供穩(wěn)定性和長期可靠性
設(shè)計為 60、90 或 120 L/min 流速
上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件,提供過程控制技術(shù)詢問,工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造,成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐,連航分別在德國和美國設(shè)立了公司和倉儲,一舉鞏固了采購能力,擴大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢,進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平。
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